[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

[15a-2V-4] パルス変調プラズマエッチング装置における表面波プローブでの電子密度計測

〇大矢 欣伸¹、岩田 学¹、菅井 秀郎² (1.TEL宮城、2.中部大工)

キーワード：表面波プローブ、電子密度、反応性プラズマ

半導体製造の量産エッチング装置として、容量結合型プラズマに(CCP)おいてもパルス変調が広く用いられるようになってきた。CCP放電の電子密度計測として非常に有効な表面波プローブは、これまでは時間分解計測が困難であった。今回、ネットワークアナライザーをプラズマ生成のRF電源と同期させることで、1μsecオーダーの電子密度の時間分解計測をすることに成功した。