2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ診断・計測

[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:30 2V (234-1(南側))

座長:佐々木 浩一(北大)

10:00 〜 10:15

[15a-2V-5] 圧力による中性粒子ビームエネルギーへの影響

〇榊原 康明1、菊地 良幸1,2、寒川 誠二2 (1.東京エレクトロン、2.東北大学)

キーワード：マイクロ波プラズマ、中性粒子ビーム、表面反応