10:45 AM - 11:00 AM
△ [15a-2V-8] Physical Interpretation of Laser-driven EUV Light Source by Measurement of Laser Absorption
Keywords:EUV light source,laser-driven plasma
EUVリソグラフィー光源として、CO2レーザー駆動SnプラズマによるEUV放射の開発が進められており、注入するレーザー光エネルギーからEUV放射エネルギーへの変換効率を現状の2-3 %から5 %程度へ上げることが要請されている。プラズマによるレーザー光の吸収率が変換効率を左右するため、その測定手法と測定結果について述べる。