[15a-4A-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[15a-4A-3] Ti/TiN積層膜を用いた力学インダクタンス検出器の性能評価

〇古谷野 凌¹、美馬 覚²、成瀬 雅人¹、明連 広昭¹、大谷 知行^2,3、田島 治⁴、田井野 徹¹ (1.埼大院、2.理研、3.東北大院、4.KEK)

キーワード：超伝導体