[15a-4A-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[15a-4A-7] Spiral-MKIDsのマイクロ波及び光応答特性のNbN膜厚依存性

〇岡 大輝¹、小川 裕平¹、渡辺 和貴¹、山田 博信¹、中島 健介¹、有吉 誠一郎²、大嶋 重利¹、齊藤 敦¹ (1.山形大工、2.豊橋技科大)

キーワード：MKID、広帯域アンテナ、スパイラル共振器

NbN製Spiral-MKIDsを作製し、マイクロ波特性及び光応答特性のNbN膜厚依存性を調査した。