2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[15a-4C-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:30 4C (432)

座長:牧山 剛三(富士通研)

09:15 〜 09:30

[15a-4C-2] AlGaN/GaN HEMTへの凹凸AlGaN層導入によるコンタクト抵抗低減効果の凹凸構造サイズ依存性

〇下田 智裕1、武井 優典1、筒井 一生1、齋藤 渉2、角嶋 邦之1、若林 整1、岩井 洋1 (1.東工大、2.東芝セミコンダクター&ストレージ社)

キーワード:AlGaN、凹凸構造、オーミックコンタクト