[15a-4C-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [15a-4C-6] ホモエピタキシャル成長n型GaN縦型ショットキーダイオードの光電流に関する考察

〇前田 拓也¹、岡田 政也²、上野 昌紀²、山本 喜之²、堀田 昌宏³、須田 淳³ (1.京大工、2.住友電工、3.京大院工)

キーワード：窒化ガリウム、光電流、ショットキー