[15a-4F-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-4F-2] 電界放出用a-CNx:H/Al多層膜のスーパーマグネトロンプラズマCVD

〇木下 治久¹、鈴木 昌¹、田口 亮平¹、村山 翼¹ (1.静大院工)

キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ

パルス放電するスーパーマグネトロンプラズマを用いて電界電子放出用の非晶質窒化炭素（a-CNx:H）膜をAl膜上に堆積し、電界電子放出素子を作製した。この膜は電子を専ら輸送する性質を有し、面電子源として用いられている。この研究においては、a-CNx:H膜上にAl膜、そしてその上にa-CNx:H膜を堆積して電界電子放出特性を比較した。