[15a-4F-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-4F-5] DLC膜の光学定数とsp²/(sp²+sp³)及び水素含有量の関係

〇(D)周 小龍¹、サラユット トゥンミー¹、鈴木 常生¹、神田 一浩²、中島 秀樹³、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.シンクロトロン光研究所)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、光学定数、NEXAFS and ERDA

DLC膜の分類法はこれまで幾つかがあった。構造が物質の物性を決めると考え、物性からDLC膜の分類する方法が提案された。その一つは光学定数(屈折率(n)と消光係数(k))による簡便な分類法である。本研究は、光学定数によるDLC膜の分類法の妥当性を検討するため、n、kと膜の構造のsp²/(sp²+sp³)及びH at.%との関係を調査する。