[15a-PA2-1~9] 1.4 Energy conversion, storage, resources and environment

[15a-PA2-4] Diameter and density control in Si nanowires using Au nanomesh as catalyst templates

〇Daichi Yamaura¹, Toshio Ogino^1,2 (1.Yokohama nat. Univ., 2.CREST/JST)

Keywords:lithium ion battery,Silicon

ウェットエッチングによるSiナノワイヤの形成法は多数報告されており、直径及び密度を制御する方法としてポーラスアルミナを用いたものなどがある。しかし、この方法は手順が多く、また再現性が低い。本研究ではSi上に蒸着したAu薄膜をアニールした後エッチング液に浸漬するだけという簡単な方法によって、Siナノワイヤの直径及び密度を制御することに成功したので、形成プロセスの考察も含めて報告する。