[15a-PA2-1~9] 1.4 エネルギー変換・貯蔵・資源・環境

[15a-PA2-4] Auナノメッシュ触媒により直径・密度を制御したSiナノワイヤの形成

〇山浦 大地¹、荻野 俊郎^1,2 (1.横浜国立大学、2.CREST/JST)

キーワード：リチウムイオン電池、Si

ウェットエッチングによるSiナノワイヤの形成法は多数報告されており、直径及び密度を制御する方法としてポーラスアルミナを用いたものなどがある。しかし、この方法は手順が多く、また再現性が低い。本研究ではSi上に蒸着したAu薄膜をアニールした後エッチング液に浸漬するだけという簡単な方法によって、Siナノワイヤの直径及び密度を制御することに成功したので、形成プロセスの考察も含めて報告する。