[15a-PA3-1~11] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[15a-PA3-8] Measurement induced phonon from ScAlN thin film by Brillouin scattering method

〇Masahiko Kawabe¹, Takahiko Yanagitani², Hayato Ichihashi¹, Shinji Takayanagi¹, Masashi Suzuki², Mami Matsukawa¹ (1.Doshisha Univ., 2.Waseda Univ.)

Keywords:Brillouin scattering,ScAlN film,Induced phonon

Brillouin散乱法は透明媒質中の微小領域の縦波および横波音速をGHz域で非破壊測定できる技術である．しかし，媒質中の熱フォノンによる微弱なBrillouin散乱を測定対象としているため測定時間が長く、音速測定精度が低い．本研究では測定試料の石英ガラスにScAlN圧電薄膜を成膜し，試料中に縦波フォノンを人工的に励起して，散乱強度の改善を試みた．