[15a-PA4-1~8] 3.11 フォトニック構造・現象

△ [15a-PA4-1] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製の検討

〇北野 圭輔^1,2、石崎 賢司¹、権平 皓^1,2、野田 進¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：フォトニック結晶、3次元フォトニック結晶

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶の開発を行ってきた．これまでに，2次元パターンを形成した層をウエハ融着法を用いて順次積層する手法により3次元構造を実現してきた．このような3次元構造において，より多層の構造を簡便に形成する手法として，今回，複数層の一括融着を用いた作製について検討した．その結果，複数層を一括融着した場合にも，1層毎に融着した場合と同様の構造が得られていることを確認した．