[15a-PA4-1~8] 3.11 Photonic structures and phenomena

△ [15a-PA4-1] Investigation on Fabrication of 3D Photonic Crystals by Batched Wafer Bonding Process of Multiple Layers

〇Keisuke Kitano^1,2, Kenji Ishizaki¹, Kou Gondaira^1,2, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:Photonic Crystal,3D Photonic Crystal

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶の開発を行ってきた．これまでに，2次元パターンを形成した層をウエハ融着法を用いて順次積層する手法により3次元構造を実現してきた．このような3次元構造において，より多層の構造を簡便に形成する手法として，今回，複数層の一括融着を用いた作製について検討した．その結果，複数層を一括融着した場合にも，1層毎に融着した場合と同様の構造が得られていることを確認した．