[15a-PB1-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[15a-PB1-9] Ge₂Sb₂Te₅薄膜からのTeナノニードル作製

〇桑原 正史¹、阿部 真帆³、鶴岡 徹²、坂井 穣⁵、上原 洋一³、遠藤 理恵⁴、曾根 逸人⁶、保坂 純男⁶ (1.産総研、2.物材機構、3.東北大、4.東工大、5.トゥール大、6.群馬大)

キーワード：カルコゲナイド、ナノニードル

我々は、半金属や狭ギャップ半導体に属する材料であるカルコゲン化合物のナノ構造の物性について興味を持ち、研究を行ってきた。ナノ構造化に伴う新規な物性を見出し、電子デバイスや熱電変換素子に応用する可能性を探っている。これまでにSb₂Te₃のナノ構造化を行い、構造や組成の評価を行った。今回、やはり代表的なGe₂Sb₂Te₅ (GST)薄膜から、ナノ構造を作製、その組成を評価したので報告する。