[15a-PB2-1~19] 12.1 作製・構造制御

[15a-PB2-13] 4H-SiC表面におけるペプチド浸漬己組織化膜を用いたナノ微細加工

〇広瀬 雄治¹、鈴木 悠矢¹、玉置 祥平¹、木下 隆利¹、江龍 修¹ (1.名工大院)

キーワード：ナノ構造、4H-SiC、自己組織化膜