[15a-PB3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15a-PB3-2] ヘリコン波プラズマスパッタ法によるBaSi₂薄膜の作製

〇(M1)横山 晟也¹、召田 雅実²、倉持 豪人²、都甲 薫¹、末益 崇^1,3 (1.筑波大、2.東ソー、3.JST-CREST)

キーワード：シリサイド、ヘリコン波プラズマ