[15a-PB3-1~12] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

△ [15a-PB3-7] Synthesis of Si-based flower-like nanostructures

〇Hiroaki Suzuki¹, Xiang Meng¹, Hirokazu Tatsuoka¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:silicon,nanostructures,Chemical vapor deposition

近年，バルク結晶にない新しい物性の発現が期待されるナノスケールで構造制御された材料が注目されている。これまでMnCl₂及びSiを原料として熱処理中に反応ガスを生成し、Siナノ構造物を成長させてきた。これまで生成されるナノ構造物の構造をナノワイヤ，ナノシートを中心に調べてきた。本研究では同様の方法によるが実験パラメータを変化させて得られた他のナノ構造物にも着目し構造解析を行った。