[15a-PB3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15a-PB3-9] キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化Ⅲ

〇北川 淳嗣¹、羽渕 仁恵¹、飯田 民夫¹、大橋 史隆²、伴 隆幸²、久米 徹二²、野々村 修一² (1.岐阜高専、2.岐大工)

キーワード：シリコンクラスレート、イオン注入