[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-3] MEMS 加速度センサのための金属構造体の密着力評価

〇佐布 晃昭¹、小西 敏文¹、松島 隆明¹、山根 大輔^2,4、年吉 洋^3,4、曽根 正人^2,4、益 一哉^2,4、町田 克之^1,2,4 (1.NTTアドバンステクノロジ、2.東京工業大学、3.東京大学、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ

我々はMEMS加速度センサの高精度・高範囲検出化を目的とし、電解Auめっき技術を 基本とした金属積層技術を用いた集積化MEMS加速度センサの研究を行っている。 MEMS加速度センサの基本構造は、電極、錘、バネ、及びストッパーで構成される。 我々は、加速度センサが過加振による自壊を防ぐためにストッパー構造を設け、20G 検出でストッパー効果を確認してきた。今回、MEMS加速度センサの信頼性を調べる ために、本ストッパー構造の耐強度を金属膜の密着力の観点から検討した。実験結 果と計算により提案するストッパーは100G以上の加速度にも耐えうる可能性がある ことがわかった。