[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-5] 高真空スパッタで作製されたPdバリア層への超臨界CO₂法による
Cu薄膜堆積

〇西川 慶¹、宇原 祥夫¹、伊藤 勝利¹、齊藤 茂¹ (1.東理大院工)

キーワード：超臨界流体、銅薄膜堆積、高真空スパッタ