[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-7] 透明酸化物半導体IGZOを用いた自己整合縦形薄膜トランジスタ

〇栗原 史昂¹、岡田 裕之¹、中 茂樹¹ (1.富大)

キーワード：薄膜トランジスタ、自己整合、縦形