[15p-1C-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

[15p-1C-13] 3次元ICに向けた多結晶InSb薄膜の電気特性評価

〇(M1)高橋 正紘^1,2、藤川 沙千恵¹、藤代 博記¹、入沢 寿史²、富永 淳二²、前田 辰郎^1,2 (1.東理大院基礎工、2.産総研)

キーワード：半導体