[15p-1C-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

[15p-1C-14] 硫黄粉末アニールの減圧化によるスパッタMoS₂薄膜の結晶性向上

〇(M1)松浦 賢太朗¹、大橋 匠¹、石原 聖也²、澤本 直美²、日比野 祐介²、須田 耕平²、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、小椋 厚志²、若林 整¹ (1.東工大、2.明治大学)

キーワード：二硫化モリブデン、スパッタリング法、硫黄粉末アニール