[15p-1C-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

[15p-1C-8] ポリシリコンと結晶シリコンチャネルFinFET CMOSインバータの作製及びその特性ばらつきの比較評価

〇柳 永シュン¹、堀 洋平¹、大野 守史¹、松川 貴¹、遠藤 和彦¹、大内 真一¹、塚田 順一¹、山内 洋美¹、石川 由紀¹、水林 亘¹、森田 行則¹、右田 真司¹、太田 裕之¹、昌原 明植¹ (1.産総研)

キーワード：FinFET、インバータ、ばらつき