[15p-1E-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [15p-1E-3] Designing scan units for Shack-Hartmann wave front sensors

〇Yoshichika Miwa¹, Takao Endo¹, Jiro Suzuki¹, Toshiyuki Ando¹ (1.Mitsubishi Electric Co.)

Keywords:Shack Hartmann,Wavefront Senser,Laser Beam

Shack-Hartmann波面センサ(SHWFS)を走査して部分開口の波面を繋ぎ合わせる測定方法について、走査機構の角度振れが蓄積することで精度が低下する。我々は、平行平板での屈折を利用することで光軸の角度振れを防ぐ方法を検討し、実験により検証したので報告する。