[15p-1E-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[15p-1E-5] 4検出器型偏光計の高精度化と高速化

石澤 倫¹、〇津留 俊英¹ (1.山形大地教)

キーワード：ポラリメトリー、エリプソメトリー、偏光

高速な偏光計として偏光素子を使わず機械的な駆動部がない透過型の4検出器型ポラリメーターに着目し、高精度化と高速化を行った。全光強度を時系列に計測する従来型の偏光計と比べて、計測精度を1桁以上向上させることに成功した。また、計測間隔は従来の10 msを大きく上回る1 μsを達成した。