2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[15p-1E-1~10] 3.8 光計測技術・機器

2015年9月15日(火) 13:30 〜 16:30 1E (143)

座長:井上 卓(浜松ホトニクス),鈴木 二郎（三菱電機）

15:30 〜 15:45

[15p-1E-7] 偏光回折格子と結像系を用いた複屈折プロファイラーの解像性能の改善

〇中島 亮平1、大谷 直毅1、福田 隆史2、江本 顕雄1 (1.同志社大理工、2.産総研電子光)

キーワード：複屈折、偏光、ナノインプリント