[15p-2G-1~16] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15p-2G-16] Atomic Layer Deposition法による誘電体多層膜粒子の作製及び発光特性評価

〇尾嵜 友亮¹、今北 健二¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：ナノ粒子、原子層堆積、誘電体

フォトニック結晶とは、屈折率の異なる誘電体物質を光の波長程度の間隔で周期的に配列した構造である。この周期構造により、光波がブラッグ反射を受けるため、自在に光制御が可能であるという構造をもつ。
本研究では、Atomic Layer Depositionにより原子層レベルでの膜厚制御が可能であることとコンフォーマルなシェルを堆積できることを利用し、球状誘電体多層膜粒子が光の状態密度制御に有用な構造であることを実験的に実証する。