[15p-2G-1~16] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15p-2G-5] 表面プラズモン導波路における光信号-電気バイアス同時伝達可能性の検討

〇(D)福原 誠史^1,2、武田 愛弓¹、相原 卓磨¹、石井 佑弥¹、福田 光男¹ (1.豊橋技科大、2.学振特別研究員 DC)

キーワード：表面プラズモン、光電子集積回路、光インターコネクト

本研究では，表面プラズモン(SP)を扱う光電子集積回路の要素技術として，金属配線を伝わるSP及び電気バイアスが各々独立に伝達する可能性を確認した．SiO₂中の金属導波路の電磁界解析を行い，単一モードが励起されるSiO₂膜厚を算出した．また，金属導波路に電流を流した際に，導波路を伝搬するSPのコヒーレント性が保たれることを実験的に確認した．