[15p-2H-1~6] 機能性材料・デバイス解析の最近の動向

[15p-2H-1] 走査型プローブ顕微鏡技術と機能性材料・デバイス評価

〇菅原 康弘¹ (1.阪大院工)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、ケルビンプローブ力顕微鏡、表面電位

様々な走査型プローブ顕微鏡の最新の開発動向ならびに機能性材料・デバイス評価への応用について議論する。