[15p-2J-1~10] 機能性酸化物の原子・ナノスケール機能開拓最前線

[15p-2J-6] 走査型プローブ顕微鏡を用いた単結晶VO₂薄膜のナノドメイン電流マッピング

〇(M2)左海 康太郎¹、服部 梓¹、神吉 輝夫¹、田中 秀和¹ (1.阪大産研)

キーワード：二酸化バナジウム、ナノ相分離現象、コンダクティブ原子間力顕微鏡

近年、VO₂薄膜において金属相と絶縁体相の２つの電子相がナノ空間で相分離していることが分かってきた。また各電子相ドメインのサイズや境界は、粒界や格子欠陥に起因するものとして報告されているが、最近TiO₂(001)基板上に作製した単結晶VO₂薄膜においてもナノスケールでの電子相分離現象が観測されている。本研究ではNb-doped TiO₂(001)基板上に単結晶VO2薄膜の作製を行い、C-AFMによるナノ電流マッピングを試み、マクロな電気伝導特性との関係を評価した。