17:30 〜 17:45
[15p-2Q-15] プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤ成長過程
キーワード：ナノワイヤ、スパッタリング
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野
[15p-2Q-1~17] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野
2015年9月15日(火) 13:45 〜 18:15 2Q (231-1)
座長:竹内 希(東工大),明石 治朗(防衛大)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野
2015年9月15日(火) 13:45 〜 18:15 2Q (231-1)
座長:竹内 希(東工大),明石 治朗(防衛大)
17:30 〜 17:45
キーワード：ナノワイヤ、スパッタリング