[15p-2S-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-2S-3] a-Si_1-xO_x:Hパッシベーション膜を堆積させた結晶シリコンの実効ライフタイムの温度依存性

〇稲葉 真宏¹、宮島 晋介¹ (1.東工大院)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、パッシベーション

シリコン太陽電池の表面パッシベーションにおいては、パッシベーション膜/結晶シリコン界面の状態が重要である。本研究では、界面の情報を得ることを目的として、実効ライフタイムの温度依存性測定を行った。酸素濃度の異なる水素化アモルファスシリコンオキサイド(i-a-Si_1-xO_x:H)パッシベーション膜について検討を行った結果、バンドギャップの変化にともない、温度依存性が大きく変化することを見出した。