[15p-2V-1~22] 8.1 プラズマ生成・制御

[15p-2V-1] [講演奨励賞受賞記念講演] メタマテリアル効果を用いたマイクロ波プラズマでの高調波生成の効率化(Ⅲ)

〇岩井 亮憲^1,2、中村 嘉浩¹、酒井 道^1,2 (1.京都大院工、2.滋賀県立大工)

キーワード：メタマテリアル、高調波生成、マイクロ波プラズマ