PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 1 14:15 〜 14:30 [15p-2V-6] タンデム型ECRイオン源からのHe/N/Ar/XeおよびFe/C60イオンビーム引き出しの最適条件ならびにその制御 〇大塚 拓郎1、西岡田 卓也1、長家 知生1、萩野 尚吾1、佐藤 文信1、加藤 裕史1 (1.阪大院工) キーワード:ECRプラズマ