[15p-2V-1~22] 8.1 プラズマ生成・制御

[15p-2V-9] 水を原料とするマイクロ波励起プラズマの生成電力低減化法の開発

〇伊藤 卓也¹、北野 卓也¹、鈴木 宏明¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、西山 聖²、堀邊 英夫² (1.金沢大、2.大阪市大)

キーワード：プラズマ、半導体、アッシング