[15p-4A-1~17] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[15p-4A-2] 薄膜成長シミュレーションを用いたREBCO薄膜中BMO自己組織化における成長温度および成膜レート依存性

〇一野 祐亮¹、吉田 隆² (1.名大エコ研、2.名大工)

キーワード：薄膜成長、ナノロッド、シミュレーション

REBCO超伝導薄膜中でナノロッド状に自己組織化するBMOは非常に強い磁束ピンニング力を持つ。しかし、自己組織化機構については不明な点が多い。本講演では、Monte Carlo法を用いた薄膜結晶成長シミュレーションコードを開発し、BMOナノロッドの自己組織化に及ぼす成長温度と成膜レートの影響について数値計算を行った。