[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-16] グリシンを蒸着したタングステンエミッタの電界イオン顕微鏡観察

〇入場 紀明¹、岡田 真¹、辻 博司¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：電界イオン顕微鏡、グリシン

先端曲率半径十数 nmのタングステンエミッタに真空蒸着法によりグリシンを蒸着し、電界イオン顕微鏡観察を行った。グリシン蒸着後の電界イオン顕微鏡観察ではタングステンの原子配列とは明らかに異なった輝点が多く観察された。またエミッタ表面中心付近の領域は暗く観察された。