[15p-4E-1~23] 7.2 Applications and technologies of electron beams

△ [15p-4E-9] Development of Modulation Transmission Electron Microscope System with Focus Tracking Function

〇(D)Takahiro Tamura¹, Yoshihide Kimura¹, Yoshizo Takai¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Transmission Electron Microscopy,In-situ obervation,wave field reconstruction

近年，透過型電子顕微鏡(TEM)では実用環境下での触媒の観察などが盛んに行われるようになっているが，このような観察では試料のz軸方向のドリフトが観察に致命的な影響を与える．本研究では当研究室で開発されてきた実時間球面収差補正法を用いて，実時間での焦点追尾機能の開発を行った．開発したシステムでは132 msecの時間分解能で±1.3nm の精度でインフォーカス位置を決定でき，試料下面波動場の動的追尾が可能になった．