2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

2015年9月15日(火) 13:15 〜 20:00 4F (438)

座長:小山 和博(デンソー),齊藤 丈靖(大阪府立大),嘉数 誠(佐賀大)

13:15 〜 13:30

△ [15p-4F-1] 強誘電体をゲート絶縁膜としたダイヤモンド表面チャネル型FET 構造の作製

〇柄谷 涼太1、古市 浩幹1、馬場 一気1、森 陽介1、中嶋 宇史2、徳田 規夫1、川江 健1 (1.金沢大、2.東京理科大)

キーワード：ダイヤモンド、FET、VDF/TrFE