[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15p-4F-12] ボロンドープダイヤモンド超伝導量子干渉計の作製に向けたジョセフソン接合の特性評価

〇日出幸 昌邦¹、蔭浦 泰資¹、柴田 将暢¹、北林 祐哉¹、山口 尚秀²、高野 義彦²、川原田 洋¹ (1.早大理工、2.物材機構)

キーワード：ダイヤモンド、超伝導、超伝導量子干渉計

我々は、ボロン濃度[B]=1×10²²cm^-3で超伝導転移温度Tc(offset)=10Kを示す超伝導ボロンドープダイヤモンドの合成を達成し、これまでに不可能であった超伝導デバイスに関する多くの測定が可能となった。超伝導量子干渉計（Superconducting Quantum Interference Device :SQUID）は微小磁場を高感度に計測可能な超伝導デバイスであるが、SQUID特性を評価する上で重要なジョセフソン接合に関する報告は少ない。そこで本研究では、SNS（超伝導-常伝導-超伝導）構造ジョセフソン接合の形成及び特性評価を行う。