[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-4F-21] 微細加工(001)基板上化学気相成長によるダイヤモンド中窒素空孔中心の生成と位置・配向制御

〇藤田 留士郎¹、黒木 諒¹、渡邊 幸志²、赤羽 浩一³、伊藤 公平¹、早瀬 潤子¹ (1.慶大理工、2.産総研、3.情報通信研究機構)

キーワード：ダイヤモンド、窒素ー空孔中心、化学気相成長