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[15p-PA5-3] NEMS技術を利用した可変光シャッタの機構設計
キーワード:シャッター、NEMS、可変
NEMSアクチュエータ機構を金属サブ波長格子で構成し、表面プラズモンの動的光学特性を電気的に制御可能な可変プラズモンデバイス(Active Plasmon Devices:以下、APDs)を開発した。APDsの空間制御(Gv, Ge)をTE偏光下で実施すると、特定波長の光強度に基づく開閉が可能な可変光シャッタ(Active Optical Shutter:以下、AOS)として働くことを明らかにしたので報告する。