[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-3] ダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ診断

〇深井 駿¹、小田 昭紀¹、上坂 裕之²、太田 貴之³ (1.千葉工大、2.名大機械、3.名城大理工)

キーワード：放電プラズマ工学