[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-31] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける膜表面粗さの制御

〇福井 崇史¹、巣山 拓¹、福岡 侑士¹、笹井 健典¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：スパッタ