[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-33] プラズマCVDによる炭素針状結晶の形成

〇(M1)二村 真史¹、田島 誠也¹、堀尾 吉已¹ (1.大同大工)

キーワード：プラズマ、炭素

本研究ではプラズマCVD装置を用いて、電界放射型電子源の先端材料としての炭素針状結晶の形成を試みている。メタンとアルゴンの混合ガスをプラズマCVD装置に流してプラズマを発生させ、パラジウムを蒸着させたガラス基板上に炭素薄膜の形成を行った。基板上には、無数の球状及び針状結晶の構造体が形成されていることがわかった。これは、電界放射電子源の先端材料としての可能性を示唆するものである。