2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-4] 非接触光干渉法を用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング中のシリコン基板温度計測

〇(M1)服部 克宏1、太田 貴之1、小田 昭紀2、上坂 裕之3 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.名大院工)

キーワード:基板温度計測、HiPIMS