[15p-PB2-1~53] 8 Plasma Electronics（Poster)

[15p-PB2-44] Optimization of mirror magnetic fields on a permanent magnet ECR ion source

〇Tsubasa Nakamura¹, Hiroki Wada¹, Toyohisa Asaji², Muneo Furuse¹ (1.NIT Oshima College., 2.NIT Toyama College)

Keywords:ECR ion source,Optimization of the mirror magnetic fields,Polyvalent ions generation

電子サイクロトロン共鳴（ECR）イオン源は，大型加速器用の多価イオン源として開発され，現在，イオン注入装置での採用が検討されている．本研究では工学応用を見据えて，製造コストおよびランニングコストが安価である永久磁石型の2.45 GHz-ECRイオン源を開発している．本発表では，中心軸方向の磁場を調整することで，引き出される多価イオンビームの電流量が変化することが分かったため，その影響の違いについて詳細を述べる．