[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-44] 永久磁石型電子サイクロトロン共鳴イオン源におけるミラー磁場の最適化

〇中村 翼¹、和田 大輝¹、浅地 豊久²、古瀬 宗雄¹ (1.大島商船高専、2.富山高専)

キーワード：ECRイオン源、ミラー磁場の最適化、多価イオンの生成

電子サイクロトロン共鳴（ECR）イオン源は，大型加速器用の多価イオン源として開発され，現在，イオン注入装置での採用が検討されている．本研究では工学応用を見据えて，製造コストおよびランニングコストが安価である永久磁石型の2.45 GHz-ECRイオン源を開発している．本発表では，中心軸方向の磁場を調整することで，引き出される多価イオンビームの電流量が変化することが分かったため，その影響の違いについて詳細を述べる．