2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-44] 永久磁石型電子サイクロトロン共鳴イオン源におけるミラー磁場の最適化

〇中村 翼1、和田 大輝1、浅地 豊久2、古瀬 宗雄1 (1.大島商船高専、2.富山高専)

キーワード:ECRイオン源、ミラー磁場の最適化、多価イオンの生成

電子サイクロトロン共鳴(ECR)イオン源は,大型加速器用の多価イオン源として開発され,現在,イオン注入装置での採用が検討されている.本研究では工学応用を見据えて,製造コストおよびランニングコストが安価である永久磁石型の2.45 GHz-ECRイオン源を開発している.本発表では,中心軸方向の磁場を調整することで,引き出される多価イオンビームの電流量が変化することが分かったため,その影響の違いについて詳細を述べる.